半导体烤箱/固化箱
n 应用介绍:
Ø 普遍应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化IC(晶园、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料.季备等的高温洁净和无氧环境中干爆和老化试验。
n 主要特点:
Ø 箱体外壳:优质冷轧碳钢板静电喷塑处理,内胆采用SUS304#不锈钢板及内部加强结构件,保温材料采用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点,优良的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀,吸风口玻纤过演器,确保洁净度的要求
n 技术指标与基本配置:
Ø 使用温度:RT~200、300、400℃
Ø 炉瞠腔数:2个上下布置
Ø 炉瞠材料:SUS304镇面不锈钢:加热元件:不锈钢加热器:热偶:
Ø 空炉升温时间:1.5h
Ø 空炉降温时间:400℃→80℃(降温时间1.5-3.5小时,采用水冷及风冷)
Ø 温度和氧含量记录:进口无纸记录仪或有纸记录仪
Ø 氧含量(配氧分析仪)
Ø 高温状态氧含量: ≤10ppm +气源氧含量
Ø 低温状态氧含量: ≤20ppm +气源氧含量
Ø 控温稳定度:≤±1℃
Ø 温度均匀度:≤±10℃(400℃)、≤±2%℃(200℃)